在高頻淬火過程中，很容易出現以下缺陷：

1.淬火裂紋

淬火裂紋是高頻淬火最常見的缺陷。

產生原因：過熱、冷卻速度過快和高頻淬火前的顯微組織不適當等。

預防方式：注意工件的形狀，特別要注意工件的棱角、圓孔邊緣、壁厚不均和倒角等。另外，鋼材中若有夾渣存在，當然對淬火裂紋的出現也會產生很大影響。

2.軟點和硬化層厚度不足

產生原因：軟點和硬化層厚度不足是由淬火溫度、加熱時間和冷卻方法等多種原因所造成。此外，電流頻率高低，感應器形狀等也應加以關注。淬火硬度和硬化層厚度還受高頻淬火前鋼中有無網狀碳化物和球化體尺寸的影響。

預防方式：按要求對所用鋼材進行正火和調質處理。此外，根據要求的硬化層厚度選用適宜的電流頻率同樣是重要的。 

3.燒傷

產生原因：由工件形狀、感應器形狀和電流頻率高低所引起的過熱會造成工件燒傷。

預防方式：注意鍵槽、圓孔邊緣以及感應器與工件的間隙問題。

4.磨削裂紋

產生原因：某些局部區域產生磨削熱而引起第一階段和第二階段的回火收縮，結果使其周圍的金屬受到一定的拉應力并形成軟點，部位呈現回火色。

預防方式：檢查磨削裂紋可以利用熱酸蝕法，這時的顯微組織為屈氏體或索氏體。砂輪的種類和粒度以及鋼種均對磨削熱產生影響。鋼件硬度越高，硬質碳化物數量越多或導熱系數越低，越易產生較多的磨削熱而使工件溫度升高。